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    美国TYSTAR公司简介


    LPCVD低压化学气相沉积设备

    tystar coporation

    Tystar Corporation位于美国加利福尼亚州加登格罗夫,创建于1988年。Tystar Corp. 产品主要包括TYTAN炉系统、工艺控制系统、宽范围的特殊工艺设备和配件,以及其他增值服务。我们的产品应用于众多领域,如集成电路服务制造、微机电系统、功率半导体器件、光电器件、光伏电池、光纤器件和半导体材料制造等等。

    自上个世纪八十年代以来,TYTAN炉系统就一直稳定服务于工业,大学和国家实验室。 我们的设备相较于其它传统设备具有占地空间小,消耗能源少,工艺均匀性优良,操作简便化,能够最大程度降低人工误操作等特点。 Tystar Corp.在全球范围安装有超过1,700 根工艺炉管,并且绝大部分都在正常运行。









    产品类别

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    德国FHR磁控溅射台 (卷对卷蒸发设备、刻蚀设备、原子层沉积设备、PECVD设备及真空设备专用靶材等耗材和备件)
    法国FLOWLINK SA阀门 (Aixtron设备专用阀门、高真空,特气阀门)
    法国ANNEALSYS SAS快速退火炉 (实验室、小批量生产用快速热处理设备)
    美国Ultratech (ALD原子层沉积设备等)
    美国TYSTAR CORPORATION (扩散炉、氧化炉、退火炉、化学气相沉积设备等)
    法国MPA Industrie设备 (广泛用于红外窗口材料、热解碳、太空镜、复合材料、原子能、冶金、纳米材料等领域)
     
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