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    法国MPA公司简介

    MPA公司简介

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    MPA Industrie在CVD技术和工艺领域拥有20多年经验。自公司创立起,MPA Industrie就致力于此领域(热CVD,等离子辅助CVD)的研究。 

    MPA Industrie已经为客户研发了用于制备先进镀膜材料的工艺和设备,如:   TiC, TiN, Ti(C,N) ,PyC, SiC, B4C,TiB2,Al2O3, AlN ,W,Re,HfO2,ZrC ,DLC, ZnS


    MPA Industrie设计制造应用于各工业领域中实验室到工业级的全套CVD镀膜设备。应用的领域如:光学,生物材料,航空航天,原子能,冶金,纳米材料等等。

    产品类别

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    德国FHR磁控溅射台 (卷对卷蒸发设备、刻蚀设备、原子层沉积设备、PECVD设备及真空设备专用靶材等耗材和备件)
    法国FLOWLINK SA阀门 (Aixtron设备专用阀门、高真空,特气阀门)
    法国ANNEALSYS SAS快速退火炉 (实验室、小批量生产用快速热处理设备)
    美国Ultratech (ALD原子层沉积设备等)
    美国TYSTAR CORPORATION (扩散炉、氧化炉、退火炉、化学气相沉积设备等)
    法国MPA Industrie设备 (广泛用于红外窗口材料、热解碳、太空镜、复合材料、原子能、冶金、纳米材料等领域)
     
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