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    真空镀膜设备



    FHR 是全球领先的薄膜真空设备制造的供应商,FHR公司成立于1991年,专注于薄膜技术的研发和薄膜设备的设计制造,前身是东德知名的军工企业,在真空镀膜设备领域已经有几十年的经验。公司坐落于德国美丽的城市德累斯顿,与德国著名的研究机构和大学有着密切的合作关系,使公司技术不断创新并保持领先。


    FHR拥有自主研发制造的先进 PVD、PECVD镀膜设备,PE、RIE等离子刻蚀设备,新一带的RTP快速退火设备,以及代表新一代半导体、微电子、纳米薄膜沉积技术的ALD 原子层沉积技术,专利技术的高密度等离子体ICP源、磁控溅射源,气路控制系统,在线工艺检测控制系统,高性能真空零部件等。


    FHR为客户提供标准的生产、研发设备的同时,也可以为客户量身定做设备。拥有丰富的设备制作及工艺经验使FHR公司在国际市场上拥有很高的声誉。


    在过去的17年中,FHR公司取得了巨大的成功,客户涉及各个领域包括西门子、阿尔卡特宇航中心、三星、欧洲航空航天局、美国NASA、欧司朗、施华洛士奇、保时捷、慕尼黑大学、德国弗劳恩霍夫研究院、开姆尼茨大学等军工、民用、研究、生产企业和部门。


    北京朗铭润德光电科技有限公司为其中国境内指定代理机构,负责销售、技术服务、零备件供应等工作。我们坚信,秉承我们一贯的严谨科学态度,客户至上的产品及设计理念,必将给中国客户带来全新的体验。


    北京朗铭润德光电科技有限公司愿与广大客户一起分享FHR公司产品带给我们的最先进技术理念,并将以专业的精神服务于我们的客户。我们希望尽一切努力与您一起为共同提高我国半导体真空制程工艺的发展贡献自己的力量。



    产品类别

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    德国FHR磁控溅射台 (卷对卷蒸发设备、刻蚀设备、原子层沉积设备、PECVD设备及真空设备专用靶材等耗材和备件)
    法国FLOWLINK SA阀门 (Aixtron设备专用阀门、高真空,特气阀门)
    法国ANNEALSYS SAS快速退火炉 (实验室、小批量生产用快速热处理设备)
    美国Ultratech (ALD原子层沉积设备等)
    美国TYSTAR CORPORATION (扩散炉、氧化炉、退火炉、化学气相沉积设备等)
    法国MPA Industrie设备 (广泛用于红外窗口材料、热解碳、太空镜、复合材料、原子能、冶金、纳米材料等领域)
     
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