• Zenith100 .


    ANNEALSYS 

             

    Zenith 100 Rapid Thermal Annealing Furnace
    快速退火炉 快速热处理炉
    1英寸版本,最高温度2000°C

    应用
    碳化硅注入退火
    高温碳化硅石墨烯
    石墨烯化学气相沉积

    参数
    Zenith100快速退火炉可处理最大直径为4英寸的基片,最高温度2000°C

    设备配有不锈钢水冷腔室。水冷的腔室壁优势如下:记忆效应低、冷却速率高。

    高温钨制加热器可实现快速冷却并增强温度均匀性。

    标配高温计和热电偶温度测量。热电偶用于校准,高温计配合快速数字PID温度控制器实现工艺温度控制。

    工艺腔室设计便于装载及卸载基片及安装热电偶。

    工业级PLC确保稳定控制快速退火炉,计算机可实现快速编程及设备检测。

     

    产品类别

    行业咨询

    德国FHR磁控溅射台 (卷对卷蒸发设备、刻蚀设备、原子层沉积设备、PECVD设备及真空设备专用靶材等耗材和备件)
    法国FLOWLINK SA阀门 (Aixtron设备专用阀门、高真空,特气阀门)
    法国ANNEALSYS SAS快速退火炉 (实验室、小批量生产用快速热处理设备)
    美国Ultratech (ALD原子层沉积设备等)
    美国TYSTAR CORPORATION (扩散炉、氧化炉、退火炉、化学气相沉积设备等)
    法国MPA Industrie设备 (广泛用于红外窗口材料、热解碳、太空镜、复合材料、原子能、冶金、纳米材料等领域)
     
    QQ在线咨询
    售前咨询热线
    010-8225-4950
    售后咨询热线
    010-8225-4950