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    尾气处理设备

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    CT-D


    尾气处理-干法吸附设备


    centrotherm CT-D 干法吸附设备为半导体、光伏产业所产生的有害气体提供高效可靠的解决方案。对供应媒介无任何特殊要求。centrotherm的CT-D干法吸附设备仅需要电气供应、CDA或氮气。


    centrotherm特殊设计的滤毒桶, 根据客户不同应用需要,可选不同尺寸、选项及装满吸附颗粒。 特殊应用下,我们使用一个或多个不同吸附颗粒,吸附有毒、腐蚀性及/或易燃产出物或副产出物。在室温下,吸附颗粒通过不可逆的化学反应将废气转化成不易挥发、稳定的无机固体。


    为方便客户,我们在全世界提供更换滤毒桶及处理吸附颗粒的服务。具体来讲,应客户要求,我们可邮寄装满全新的带吸附颗粒的滤毒桶。客户可选择自行更换滤毒桶或请我方服务人员完成。centrotherm安排自取用过的吸附桶,处理吸附颗粒,并向客户提供废物处理证明。

     

    废物处理效率达(DRE)99.99 %

    去除效率能达到阈限值要求 (TLV)

    特殊设计的颗粒用于半导体及光伏领域

    不可逆化学反应,将有害废气化合物转换成稳定的无机固体

    不可逆化学吸附

    反应效率高,时间短

     

    特点 & 优势

     

    整合废气和入口压力监视功能

    媒介消耗低

    维护要求低

    符合危险品运输标准

    吸附桶更换便捷安全

    集成旁路可选小型吸附桶

    专利的吸附桶设计,整合了冷阱功能,防止阻塞

    世界范围内成熟的再填料及处理理念

     

    再填料及处理理念

     

    客户向centrotherm提交滤毒桶更换要求

    向客户发送新滤毒桶

    吸附模块返厂运输由centrotherm完成

    符合危险品运输标准

    按法律规定,向客户提供回收/处理证明

    centrotherm

       

     

    产品类别

    行业咨询

    德国FHR磁控溅射台 (卷对卷蒸发设备、刻蚀设备、原子层沉积设备、PECVD设备及真空设备专用靶材等耗材和备件)
    法国FLOWLINK SA阀门 (Aixtron设备专用阀门、高真空,特气阀门)
    法国ANNEALSYS SAS快速退火炉 (实验室、小批量生产用快速热处理设备)
    美国Ultratech (ALD原子层沉积设备等)
    美国TYSTAR CORPORATION (扩散炉、氧化炉、退火炉、化学气相沉积设备等)
    法国MPA Industrie设备 (广泛用于红外窗口材料、热解碳、太空镜、复合材料、原子能、冶金、纳米材料等领域)
     
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