• CT-W


    尾气处理设备

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    CT-W


    尾气处理-CT-W湿法尾气处理设备


    CT-W湿法尾气处理在不同的CVD和蚀刻工艺废气排放处理方面非CT-W的特色是可以减少废气中 99%的灰尘颗粒,吸附灰的尘颗粒随废水排出。CT-W另一优点是特殊设计的废气口,可防止固体反应物生成。CT-W可作为独立设备安装或CT-BW预清洗系统安装在CT-BW进气端。 CT-W湿法清洗的设计专用于高效处理HCl, HF, SiH2Cl2, SiCl4 and NH3及其他酸碱性尾气,且拥有成本低。根据须处理尾气,CT-W使用酸性或碱性中和剂进行中和。密封的洗涤塔配有高性能逆流喷头,可保证在废气高速率流动下,设备仍然非常稳定。CT-W配有四个独立接口,每个配有一条旁路,可连接至常压腔室或低压腔室,总废气负载达3,000 slm。 另一重要优势为提供N2文丘里和加热进气口,确保所有者低成本和低维护的需求。尤其对于WF6, BCl3, AlCl3 或 NH4Cl等有可能阻塞管道的气体。


    特点 & 优势


    处理效能(DRE)可达 99.99 %

    颗粒减少

    拥有成本低

    正常运行时间由于 99%

    四路进气口

    旁路阀

    废气流量达 3,000 slm

    可提供防爆设计

    Ethernet 或 RS485监控界面

    维护便捷快速

    符合国际安全标准和规范

    - SEMI S2

    - NFPA79:2002

    - EN / ISO 14121-1: 2007

    - EN / ISO 13849-1: 2008

    - EN60204-1: 2006

    - MD2006/EC/42-Annex I: 2006

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    产品类别

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    德国FHR磁控溅射台 (卷对卷蒸发设备、刻蚀设备、原子层沉积设备、PECVD设备及真空设备专用靶材等耗材和备件)
    法国FLOWLINK SA阀门 (Aixtron设备专用阀门、高真空,特气阀门)
    法国ANNEALSYS SAS快速退火炉 (实验室、小批量生产用快速热处理设备)
    美国Ultratech (ALD原子层沉积设备等)
    美国TYSTAR CORPORATION (扩散炉、氧化炉、退火炉、化学气相沉积设备等)
    法国MPA Industrie设备 (广泛用于红外窗口材料、热解碳、太空镜、复合材料、原子能、冶金、纳米材料等领域)
     
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