• 紫外臭氧清洗机


    FHR紫外臭氧清洗机


    fhr紫外臭氧清洗机

    FHR紫外臭氧清洗机


    实验室及生产用超洁净清洗机

    表面无碳氢化合物

    表面活性处理

    适用于 10 级洁净间

    许多工艺前提条件要求基片超洁净、无碳水化合物。之后对基片表面进行活性预处理。我司研发的UV-ozone臭氧清洗技术可同时实现以上两个步骤:超洁净及表面活性处理。


    桌式设备,基片直径达150 mm 或 300 mm

    UVOH 150

    UVOH 300

    UVOH 150 LAB

    所有设备可根据客户不同需求专业定制。欲知更多信息,请联系我们。

     

    UV-ozone 仪器典型应用

    镀膜工艺前超洁净清洗

    粘合及连接工艺前超洁净清洗

    基片清洗

    氧化及外延工艺活化处理

    组件清洗

     

    产品类别

    行业咨询

    德国FHR磁控溅射台 (卷对卷蒸发设备、刻蚀设备、原子层沉积设备、PECVD设备及真空设备专用靶材等耗材和备件)
    法国FLOWLINK SA阀门 (Aixtron设备专用阀门、高真空,特气阀门)
    法国ANNEALSYS SAS快速退火炉 (实验室、小批量生产用快速热处理设备)
    美国Ultratech (ALD原子层沉积设备等)
    美国TYSTAR CORPORATION (扩散炉、氧化炉、退火炉、化学气相沉积设备等)
    法国MPA Industrie设备 (广泛用于红外窗口材料、热解碳、太空镜、复合材料、原子能、冶金、纳米材料等领域)
     
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