• FHR.Line系列产品


    FHR.Line.XXX 产品系列

     

    FHR 直线式设备

     

    产品优化、产量高的中试线及实验线

    在线式或摆动式基片传输

    可实现前后端同步镀膜

    可整合不同工艺技术

     

    在线式理念是大面积、高产能基片沉积及镀膜的正确解决方案。我司可根据客户基片尺寸要求,专业提供水平或垂直基底的在线式解决方案。应客户要求,可实现手动或全自动传输模式及加热或刻蚀预处理基片。

     

    可整合不同工艺技术

    磁控溅射

    热蒸发

    化学气相沉积 CVD / 等离子-增强化学气相沉积

    原子层沉积 (ALD)

    等离子刻蚀 (PE) / 反应离子刻蚀 (RIE)

    退火 (FLA & RTP)


    多腔设备特殊应用

    光伏

    Solar Thermals(CSP)

    建筑玻璃

    传感器工艺

    光学


     

    产品类别

    行业咨询

    德国FHR磁控溅射台 (卷对卷蒸发设备、刻蚀设备、原子层沉积设备、PECVD设备及真空设备专用靶材等耗材和备件)
    法国FLOWLINK SA阀门 (Aixtron设备专用阀门、高真空,特气阀门)
    法国ANNEALSYS SAS快速退火炉 (实验室、小批量生产用快速热处理设备)
    美国Ultratech (ALD原子层沉积设备等)
    美国TYSTAR CORPORATION (扩散炉、氧化炉、退火炉、化学气相沉积设备等)
    法国MPA Industrie设备 (广泛用于红外窗口材料、热解碳、太空镜、复合材料、原子能、冶金、纳米材料等领域)
     
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