• FHR.Roll系列产品


    FHR卷绕镀膜设备


    fhr卷绕镀膜设备

    FHR Roll to Roll 卷绕镀膜设备


    FHR.Roll.XXX 产品系列

    FHR 卷对卷设备

    用于柔性电子及创新OLED显示的镀膜设备

    独立控制的高精度卷绕系统

    可整合在线工艺测量设备

    生产柔性太阳能薄膜电池


    市场上的电子产品非常死板,我司生产的卷-对-卷柔性镀膜设备为生产诸如:柔性太阳能电池、有机显示薄膜或"柔性"传感器提供解决方案。我司使用金属及柔性薄膜作为基底,镀膜宽度可根据客户需求定制。我司的设计理念是为溅射及蒸发工艺领域获得最大限度的柔性指标。卷绕系统可自由编程,对基底温度的闭合循环控制允许设备在更为宽广的工艺窗口下处理不同材料的基底及薄膜。我司拥有整合在线工艺测量系统及原位工艺测量设备的专业能力。


    可整合的工艺

    磁控溅射

    热蒸发

    等离子刻蚀 (PE)


    卷-对-卷系统应用领域

    光伏

    OLED 显示

    传感器技术

    光学

    fhr卷绕镀膜设备

    卷-对-卷溅射设备内带旋转靶材的阴极

     

    产品类别

    行业咨询

    德国FHR磁控溅射台 (卷对卷蒸发设备、刻蚀设备、原子层沉积设备、PECVD设备及真空设备专用靶材等耗材和备件)
    法国FLOWLINK SA阀门 (Aixtron设备专用阀门、高真空,特气阀门)
    法国ANNEALSYS SAS快速退火炉 (实验室、小批量生产用快速热处理设备)
    美国Ultratech (ALD原子层沉积设备等)
    美国TYSTAR CORPORATION (扩散炉、氧化炉、退火炉、化学气相沉积设备等)
    法国MPA Industrie设备 (广泛用于红外窗口材料、热解碳、太空镜、复合材料、原子能、冶金、纳米材料等领域)
     
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