• FHR光学镀膜设备


    FHR光学镀膜设备


    fhr真空直线式磁控溅射镀膜设备

    光学镀膜 - 用于研发及工艺


    光学应用的特殊设计

    FHR 多腔式设备 (FHR.Star.XXX)

    FHR 直线式设备 (FHR.Line.XXX)

    FHR 原子层沉积设备

    FHR 绑定靶材


    可按客户需求定制工艺

    磁控溅射

    热蒸发

    化学气相沉积 (CVD) / 等离子-增强化学气相沉积 (PECVD)

    等离子刻蚀 (PE) / 反应离子刻蚀 (RIE)

    退火 (FLA & RTP)

     

    产品类别

    行业咨询

    德国FHR磁控溅射台 (卷对卷蒸发设备、刻蚀设备、原子层沉积设备、PECVD设备及真空设备专用靶材等耗材和备件)
    法国FLOWLINK SA阀门 (Aixtron设备专用阀门、高真空,特气阀门)
    法国ANNEALSYS SAS快速退火炉 (实验室、小批量生产用快速热处理设备)
    美国Ultratech (ALD原子层沉积设备等)
    美国TYSTAR CORPORATION (扩散炉、氧化炉、退火炉、化学气相沉积设备等)
    法国MPA Industrie设备 (广泛用于红外窗口材料、热解碳、太空镜、复合材料、原子能、冶金、纳米材料等领域)
     
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