• FHR实验室闪光灯退火设备


    fhr-micro

    FHR 实验室型/小型设备


    FHR.Micro.160-FLA [超短脉冲退火设备]


    经典版本

    -尺寸小且设计紧凑

    -铝制工艺腔室

    -固定式基片托用于最大ø100mm基片

    -闪光灯退火工艺 (持续时间 0,8…20ms)

    -预加热系统 (基片最高至 800°C)

    -手动操作

    -表面温度组合峰值 1500°C

    -4个电容器组合


    应用:

    修复面, 热处理退火塑料 (低温材料), 烘烤漆和涂膜, 涂层致密化, 控制膜层参数,….

     

    产品类别

    行业咨询

    德国FHR磁控溅射台 (卷对卷蒸发设备、刻蚀设备、原子层沉积设备、PECVD设备及真空设备专用靶材等耗材和备件)
    法国FLOWLINK SA阀门 (Aixtron设备专用阀门、高真空,特气阀门)
    法国ANNEALSYS SAS快速退火炉 (实验室、小批量生产用快速热处理设备)
    美国Ultratech (ALD原子层沉积设备等)
    美国TYSTAR CORPORATION (扩散炉、氧化炉、退火炉、化学气相沉积设备等)
    法国MPA Industrie设备 (广泛用于红外窗口材料、热解碳、太空镜、复合材料、原子能、冶金、纳米材料等领域)
     
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