• UPC 03 控制单元



    UPC03控制单元

    UPC 03控制单元


    UPC 03 控制器是宽为14 TE和高为3 HE的19英寸框架插件式插入单元。在供货时,也可为此插件配置外壳以便置于桌上直接使用。


    通过set parameter 开关可以选择已设定好的三组参数。通过mode开关可以选择工作状态。 工作状态 close是指控制阀门关闭, 控制器不工作。工作状态 ctrl. 是压力被输入的设定值(sp)调整。在drive 位置下, 流经控制阀的气体流量可以根据设定值得以控制。


    通过up/down 开关参数(如: 设定值指标)可以被设定。通过 back/next开关可以进行菜单选择。显示屏位于控制器前面板,在显示屏上显示当前测量值, 预设定值, 被选择的参数组和阀门电压。显示器下方的三个指示灯显示了控制单元的状态。



     

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    德国FHR磁控溅射台 (卷对卷蒸发设备、刻蚀设备、原子层沉积设备、PECVD设备及真空设备专用靶材等耗材和备件)
    法国FLOWLINK SA阀门 (Aixtron设备专用阀门、高真空,特气阀门)
    法国ANNEALSYS SAS快速退火炉 (实验室、小批量生产用快速热处理设备)
    美国Ultratech (ALD原子层沉积设备等)
    美国TYSTAR CORPORATION (扩散炉、氧化炉、退火炉、化学气相沉积设备等)
    法国MPA Industrie设备 (广泛用于红外窗口材料、热解碳、太空镜、复合材料、原子能、冶金、纳米材料等领域)
     
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