• PCV 03 04 气体控制单元


    PCV03 04

     

      PCV 03/04

     


    UPS 03控制回路可使系统中的气压与进气量变化相关。一个压电陶瓷弯曲片和一个密封元件用以实现控制阀的动作。正以直流正电压驱动时,压电陶瓷片的弯曲立即引起毛细气管张开,从而释放给定流量的气体进入工艺腔室。 
    该控制室的输出(0…150V)通过单芯同轴接头与PCV 03控制阀联接。 
    该控制器的输出(0...150V)通过双芯(已绝缘)与PCV 04控制阀联接。


    通过DN 25 ISO- KF连接法兰,控制阀和腔室真空密封连接(可根据需要提供DN 16 ISO-KF或DN 40 CF)(图4)。 除气阀用来清除气体瓶安装或换瓶后气体管道内的残留空气。

     

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    德国FHR磁控溅射台 (卷对卷蒸发设备、刻蚀设备、原子层沉积设备、PECVD设备及真空设备专用靶材等耗材和备件)
    法国FLOWLINK SA阀门 (Aixtron设备专用阀门、高真空,特气阀门)
    法国ANNEALSYS SAS快速退火炉 (实验室、小批量生产用快速热处理设备)
    美国Ultratech (ALD原子层沉积设备等)
    美国TYSTAR CORPORATION (扩散炉、氧化炉、退火炉、化学气相沉积设备等)
    法国MPA Industrie设备 (广泛用于红外窗口材料、热解碳、太空镜、复合材料、原子能、冶金、纳米材料等领域)
     
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