产品展示PCV 03 04 气体控制单元
PCV03 04 
PCV 03/04
UPS 03控制回路可使系统中的气压与进气量变化相关。一个压电陶瓷弯曲片和一个密封元件用以实现控制阀的动作。正以直流正电压驱动时，压电陶瓷片的弯曲立即引起毛细气管张开，从而释放给定流量的气体进入工艺腔室。
通过DN 25 ISO- KF连接法兰，控制阀和腔室真空密封连接(可根据需要提供DN 16 ISO-KF或DN 40 CF)(图4)。 除气阀用来清除气体瓶安装或换瓶后气体管道内的残留空气。
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德国FHR磁控溅射台 (卷对卷蒸发设备、刻蚀设备、原子层沉积设备、PECVD设备及真空设备专用靶材等耗材和备件)
法国FLOWLINK SA阀门 (Aixtron设备专用阀门、高真空，特气阀门)
法国ANNEALSYS SAS快速退火炉 (实验室、小批量生产用快速热处理设备)
美国Veeco/Cambridge NanoTech (ALD原子层沉积设备等)
德国centrotherm clean solutions & Co. KG 尾气处理设备 (有毒、特殊气体处理装置)
美国TYSTAR CORPORATION (扩散炉、氧化炉、退火炉、化学气相沉积设备等)
法国MPA Industrie设备 (广泛用于红外窗口材料、热解碳、太空镜、复合材料、原子能、冶金、纳米材料等领域)
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