ꁇ磁控溅射镀膜设备

• FHR.Star系列

• FHR.Eoss 系列

• FHR.Line 系列

• FHR.Roll 系列

• FHR.Boxx 系列

ꁇAnnealsys快速退火炉

• 4“和6”快速退火炉

• 8”快速退火炉

ꁇCVD镀膜设备

• 高温真空CVD/CVI炉

• 光增强CVD

• 液体直流喷射型CVD/ALD

• LPCVD/常压CVD

ꁇ半导体工艺设备部件

• Flowlink 阀门

• 静电卡盘

• 工艺气体配气盘/柜

• 石墨托盘

磁控溅射靶材

ꁇCT尾气处理设备

• 燃烧-水洗 系统

• 电加热水洗

• 干式吸附系统

检测设备