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MPA.高温真空CVD/CVI 炉
MPA公司简介
MPA公司是全球领先的专业从事CVD/CVI高温真空炉制造公司,能为客户提供基于高温真空CVD/CVI工艺的全套解决方案。
MPA公司技术优点:
设计建造定制化的关键CVD反应器
化学和物理反应器的建造
特气管理(有毒,易腐蚀,易爆)
液体源管理(存储和运输)专家
固态源研制:高温金属氯化
真空技术和溢出阱
工艺控制
MPA目前所能制作的先进材料种类:
石墨托盘镀碳化硅工艺
石墨纯化
C/C C/Si 包覆材料镀膜以及耐磨材料镀膜
ZnS/ZnSn 红外窗口材料制备
模具、刀具表面的硬质、耐磨合金镀膜
h-BN (六方氮化硼)镀膜
MPA公司知名的部分合作伙伴
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